脉冲电源，中频电源，射频电源？

上面的仁兄已经解释了概念，那我就说说应用吧。

中频电源是用于 中频双靶溅射 就是将电源的两极接在两个靶材上，是为了避免靶材中毒，普通的直流溅射中靶材粘附等离子体而是靶成正极，中频双靶溅射就是将等离子体中而使之成中性。还可以提高溅射率。

射频电源是用于 射频溅射 射频电源在真空室中产生电子，电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材。射频溅射的最大优点是可以制备从导体到绝缘体材料的薄膜。

脉冲电源我就不太清楚了。很少有看到脉冲电源用于真空溅射镀膜上的。